複合セラミックに使用される窒化ホウ素
Sep 30, 2021
窒化ホウ素材料は、高い熱安定性、化学的安定性、および電気絶縁性を備えています。 同時に、熱伝導率が高く、誘電特性が良く、製品の加工が容易であるという特徴があります。 融点は2800℃と高い。 これは典型的な電気絶縁体であり、優れた熱伝導体です。 TiB2と組み合わせたBN材料のこれらのユニークな自然特性は、材料'の熱伝導率を改善し、適切な抵抗率と抵抗温度係数を得ることができます。
BN複合導電性セラミック材料蒸着ボートは、主に真空めっき業界で使用されています。 真空めっき金型は、アルミニウム、銀、金、チタンなどの蒸着金属材料を真空高温下で蒸気に変換し、金属、ガラス、シリコンウェーハ、有機金型、紙にめっきする方法です。および基板を形成するための他のベース材料。 数十から数百オングストロームの金属薄膜コーティング。 耐熱性、耐金属溶液侵食性、耐熱衝撃性、熱伝導性に優れた蒸着金属を運ぶためのるつぼまたはボートは、& quot;蒸発ボート& quot;です。 1970年代に真空めっき技術が導入されて以来、蒸発ボートの使用は、初期のグラファイトるつぼから、耐食性が低く耐用年数が長い加熱炭素容器に窒化ホウ素ライニングを備えた後の二重るつぼシステムにまで及びました。 短い待機では満足のいく結果を得ることができません。 米国のUnitedCarbide Corporationが、窒化ホウ素複合導電性セラミック材料を真空めっき蒸発ボートの製造に導入し、蒸発ボートの材料性能と耐用年数を徐々に改善および改善するまではありませんでした。
さらに、高い絶縁破壊強度と高い体積抵抗率の組み合わせにより、h-BNセラミック製品が電気絶縁体として使用されます。 高温で酸化される傾向があるため、真空および不活性雰囲気での操作によく使用されます。 窒化ホウ素の化学的不活性により、熱電対保護スリーブ、るつぼ、反射容器のライニングに広く使用されますが、塗布中の酸化性雰囲気を回避します。
