窒化ホウ素の化学気相合成

1979年、Sokolowskiはパルスプラズマ技術を使用して、低温および低圧で立方晶窒化ホウ素（CBN）膜を作成することに成功しました。 使用する機器はシンプルで、工程も簡単に実現できるため、急速に開発されています。 さまざまな蒸着法が登場しています。 伝統的に言えば、それは主に熱化学蒸着を指します。 実験装置は、一般的に耐熱石英管と加熱装置で構成されています。 基板は、加熱炉（ホットウォールCVD）または高周波誘導加熱（コールドウォールCVD）によって加熱することができます。 反応ガスは高温基板の表面で分解すると同時に、化学反応を起こして膜を堆積させます。 反応ガスはBClの混合ガスです₃ またはB₂H₄とNH₃.