窒化物セラミック基板

（1）窒化ケイ素セラミック基板

窒化ケイ素を主成分とするセラミックは窒化ケイ素セラミックと呼ばれ、窒化ケイ素セラミックには2つの形態があります。 また、熱膨張係数が低く、冷熱融着性に優れ、フッ化水素酸以外の各種無機酸やアルカリ溶液に耐え、溶融鉛、スズ、ニッケル、黄鋼、アルミニウムにも耐えることができます。およびその他の非鉄金属金属および合金の腐食であり、これらの溶融金属に付着しません。

（2）窒化ホウ素セラミック基板

窒化ホウ素を主成分とするセラミックを塩化ホウ素セラミックと呼びます。 窒化ホウ素は共有結合化合物であり、炭化ケイ素を主成分とする炭化ケイ素セラミックマトリックス炭化ケイ素セラミックマトリックス炭化ケイ素セラミックマトリックス炭化ケイ素セラミックマトリックスセラミックを炭化ケイ素セラミックと呼びます。 炭化ケイ素は非常に硬く、耐摩耗性のある材料です。 ダイヤモンドを切断するための工具として、ホットプレスで製造された炭化ケイ素が使用されています。 炭化ケイ素は、優れた耐食性と耐酸化性も備えています

（3）炭化ホウ素セラミックマトリックス

炭化ホウ素を主成分とするセラミックを炭化ホウ素セラミックと呼びます。 炭化ホウ素は、低密度、高融点、高硬度のセラミックです。 炭化ホウ素粉末は、無加圧焼結やホットプレスなどの準備技術によって緻密な材料​​に成形することができます。