酸化物セラミック基板

（1）アルミナセラミックマトリックスアルミナを主成分とするセラミックをアルミナセラミックと呼びます。 アルミナには、熱力学的に安定した相が1つだけあります。 アルミナセラミックには、高純度アルミナセラミック、99アルミナセラミック、95アルミナセラミック、85アルミナセラミックなどが含まれます。

（2）ジルコニアセラミックマトリックスジルコニアを主成分とするセラミックをジルコニアセラミックと呼びます。 ジルコニアの密度は5.6〜5.9g / cm3で、融点は2175°Cです。 安定したジルコニアセラミックは、比熱容量と熱伝導率が低く、靭性と化学的安定性に優れています。 高温で耐酸性・耐アルカリ性があります。