タングステン蒸発ボートと窒化ホウ素蒸発ボート

さまざまな用途の薄膜の製造に関しては、蒸着ボートの選択がプロセスで重要な役割を果たします。 一般的に使用される 2 つのボートは、タングステン ボートと窒化ホウ素ボートです。 この記事では、タングステン蒸着ボートとタングステン蒸着ボートの違いについて説明します。窒化ホウ素蒸発ボートとそれぞれの利点。

タングステン蒸着ボートはタングステン金属から作られています。 これらは融点が高いことで知られており、高温真空用途での使用に最適です。 タングステンは熱衝撃に対する耐性も高いため、亀裂や破損を起こすことなく急激な温度変化に耐えることができます。 さらに、タングステンボートは熱膨張係数が低いため、加熱および冷却サイクル中に変形したり反ったりしません。 これらの特性により、タングステン ボートは金属、合金、セラミックの製造に最適です。

一方、窒化ホウ素蒸発ボートは最先端のセラミック材料で作られています。 窒化ホウ素は、優れた熱伝導性、高温安定性、化学的不活性性を備えた高性能セラミックです。 熱膨張係数が非常に低いため、加熱および冷却サイクル中に変形しません。 窒化ホウ素ボートは、化学的に不活性な環境を必要とする金属、合金、その他の反応性材料の製造での使用に最適です。

タングステンボートと比較して、窒化ホウ素ボートにはいくつかの利点があります。 何よりもまず、窒化ホウ素ボートは化学的に不活性です。つまり、蒸発する材料と反応しません。 ボートが薄膜を汚染しないため、これは反応性金属または合金を扱う場合に特に重要です。 さらに、窒化ホウ素ボートは優れた耐熱衝撃性を備えているため、高温真空プロセスでの使用に最適です。

要約すると、タングステンと窒化ホウ素の両方の蒸着ボートは薄膜製造に役立ちます。 選択は、特定の用途と蒸着される材料に大きく依存します。 タングステンボートは、高温真空プロセスや高い耐熱衝撃性が必要な材料に最適です。 一方、窒化ホウ素ボートは優れた耐薬品性と耐熱衝撃性を備えているため、反応性材料の使用に最適です。