炭化ケイ素カンチレバースラリー

応用分野: 半導体製造業界でシリコンウェーハの熱成長と酸化を行うために使用される拡散炉および高温酸化拡散炉では、カンチレバーパドルはウェーハローディングシステムの重要なコンポーネントであり、ウェーハと炉管の均一性を確保します。均一な拡散と酸化。 炭化ケイ素カンチレバーパドルは、高強度、高純度、高熱伝導率、多孔性なし、酸およびアルカリ腐食に対する耐性、高温での汚染なし、良好な熱衝撃安定性、および高い負荷容量を特徴としています。 LPCVD コーティングと同様の熱膨張係数と組み合わせることで、LPCVD で炭化ケイ素カンチレバー パドルを使用すると、メンテナンスの洗浄サイクルが大幅に延長され、汚染が大幅に軽減されます。